Плотников, В. А., Мальцева, А. А., & Макаров, С. В. . (2025). СТРУКТУРНОЕ СОСТОЯНИЕ ТОНКИХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЁНОК И ИХ ЛОКАЛЬНАЯ ПРОВОДИМОСТЬ: 10.25712/ASTU.1811-1416.2025.01.012. ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ СОВРЕМЕННОГО МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ, 22(1), 116–122. извлечено от https://ojs.altstu.ru/index.php/fpsm/article/view/915