ПЛОТНИКОВ, В. А.; МАЛЬЦЕВА, А. А.; МАКАРОВ, С. В. . СТРУКТУРНОЕ СОСТОЯНИЕ ТОНКИХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЁНОК И ИХ ЛОКАЛЬНАЯ ПРОВОДИМОСТЬ: 10.25712/ASTU.1811-1416.2025.01.012. ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ СОВРЕМЕННОГО МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ, [S. l.], v. 22, n. 1, p. 116–122, 2025. Disponível em: https://ojs.altstu.ru/index.php/fpsm/article/view/915. Acesso em: 10 апр. 2025.