ЧИСЛЕННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН В YBa3(PO4)3 КРИСТАЛЛЕ: 10.25712/ASTU.1811-1416.2022.02.004

Ринат Миргазиянович  Тазиев

Авторы

Ринат Миргазиянович Тазиев Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, пp. ак. Лавpентьева, 13, 630090, Новосибирск, Россия https://orcid.org/0000-0002-9164-8245

Ключевые слова:

YBa3(PO4)3, поверхностная акустическая волна

Аннотация

Новые пьезоэлектрические материалы всё более востребованы для использования в различного рода устройствах (датчиках и т.д.), работающих в широком диапазоне рабочих температур. Технология поверхностных акустических волн (ПАВ) позволяет проводить совместную обработку сигналов с многофункциональных сенсорных элементов датчиков. Новый кристалл YBa₃(PO₄)₃ имеет кубическую симметрию и обладает пьезоэлектрическими свойствами. В работе представлено численное исследование свойств поверхностной акустической волны (ПАВ) в кристалле YBa₃(PO₄)₃. Фазовая скорость ПАВ, коэффициент электромеханической связи и угол отклонения потока энергии волны исследуется для различных кристаллических срезов кубического кристалла YBa₃(PO₄)₃. Для Z-среза и направления распространения волны вдоль оси X+45° показано, что ПАВ имеет максимальное значение коэффициента электромеханической связи (0,17%) в кристалле. Для Z+45°-среза и направления распространения волны вдоль оси X коэффициент электромеханической связи равен 0,1%. Оба эти среза кристалла представляют потенциальный интерес для ПАВ-устройств.